P66.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺 30μm價格直驅(qū)壓電平移臺，是三維XYZ軸運(yùn)動壓電定位臺，采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)的設(shè)計原理，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率、定位精度具有高的可靠性，壓電平移臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著重要的作用。

特性   P66.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺 30μm價格

• 位移30μm/軸                   • 電阻與電容傳感器可選                  • 多維運(yùn)動無耦合                  • 承載3.5kg

開環(huán)與閉環(huán)版本可選		傳感器類型	頻率負(fù)載曲線
P66系列壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本壓電納米定位臺內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（SGS），配備在驅(qū)動機(jī)構(gòu)的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。 傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實現(xiàn)滿行程0.05%的線性度與重復(fù)度。